真空技术

出版时间：2007-6  出版社：北航大学  作者：王欲知  页数：574  

内容概要

　　本书包括真空技术的物理基础及实际技术两大部分。物理基础部分由稀薄气体理论及固体一气体间的现象两章组成；实际技术部分包括真空获得、总压强测量、分压强测量、真空检漏技术及真空系统等5章。本书注重理论联系实际，科学系统性较完整，对问题的阐述力求做到理论严谨、概念准确。本书可作为电子物理与技术、半导体、微电子、冶金、真空设备和实验物理等有关专业的研究生及本科生教材使用，也可供有关真空技术应用方面的科技人员参考。

书籍目录

1　绪论1.1　真空技术与低温技术的关系1.2　真空低温技术概况1.3　真空低温技术的应用1.3.1　冷冻真空干燥1.3.2　真空压力浸渍1.3.3 真空保鲜1.3.4 空间真空低温技术1.3.5　真空绝热与低温容器1.3.6　低温真空泵1.3.7 真空低温技术的其他应用1.4　真空低温技术与设备研究的内容2　真空技术基础2.1　蒸发与凝结2.2　气体的热传导2.2.1 真空度较低（l《d）的情况2.2.2 真空度较高（l>d）的情况2.2.3 中真空（l≈d）的情况2.3　真空状态下气体的流动2.3.1 流动状态及其判据2.3.2　流动过程的基本物理量及其相互关系2.3.3 管道的流导计算2.4　真空获得设备2.4.1 真空泵的主要参数2.4.2 国产真空泵型号、规格、性能表示法2.4.3 水环泵2.4.4 旋片泵2.4.5 滑阀式真空泵2.4.6 罗茨真空泵2.4.7 油扩散泵2.5　真空测量2.5.1 弹性元件真空计2.5.2 电容式薄膜真空计2.5.3 电阻真空计2.5.4　高压力热阴极电离真空计2.5.5　真空测量技术2.6　真空阀门2.6.1 真空阀门的型号2.6.2　真空低温技术与设备中常用的阀门2.6.3 阀门上的密封材料2.7　真空系统2.7.1　真空系统设计中的主要参数2.7.2　抽气时间计算2.7.3　选泵与配泵2.7.4　真空低温设备常用的抽气机组2.8　检漏方法2.8.1　最大允许漏率2.8.2　静态升压检漏法2.8.3　气泡检漏法2.8.4　真空计检漏法2.8.5 卤素检漏仪法2.8.6　氦质谱检漏仪法3　低温技术基础3.1　低温技术的热力学基础3.1.1 基本概念3.1.2　热力学基本定律在制冷技术中的应用3.1.3 制冷系数与卡诺定理3.1.4 实际气体的性质3.2　低温的获得3.2.1 相变制冷3.2.2 气体绝热膨胀制冷3.2.3　其他低温获得方法3.3　单级压缩制冷系统3.3.1 单级压缩制冷系统的工作原理3.3.2　单级压缩制冷系统的组成3.3.3　制冷系统的热力计算3.4　双级压缩制冷系统3.4.1　双级压缩氟制冷系统3.4.2　双级压缩氨制冷系统3.5　复叠式和吸收式制冷系统3.5.1 复叠式制冷系统……4　冷冻真空干燥技术与设备5　真空压力浸渍技术与设备6　真空保鲜技术与设备7　空间真空低温技术8　真空绝热与低温容器和真空玻璃9　低温真空泵参考文献