微机械电子系统及其应用

出版时间：2003-2-1  出版社：北京航空航天大学出版社  作者：刘广玉  页数：192  

内容概要

本书综合当前公开发表的大量有关微机电系统（MEMS）的科技文献和我们近几年研究工作的成果，主要介绍当今微机电系统的内容、应用及其发展。内容包括微机电系统的组成和应用、微机电系统功能材料、微机械制造技术、微机械执行器、微机械传感器及微弱信号检测与处理6部分。
全书内容丰富、图文恰当、新颖实用。可作为高校有关专业研究生和高年级大学生的教材，也可供检测与控制等微工程领域的工程技术人员参考。

书籍目录

1，微机电系统的组成和应用
2，微机电系统功能材料
3，微机械制造技术
4，微机械执行器
5，微机械传感器
6，微机械弱信号检测与处理