微波等离子体化学气相沉积金刚石膜

出版时间：2002-1  作者：周健  
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内容概要

《微波等离子体化学气相沉积金刚石膜》共分六章，介绍了金刚石的结构与主要性质，分析了化学气相沉积金刚石膜的机理和表征以及金刚石膜应用的关键问题。