实用真空技术

出版时间：2012-7  出版社：大连理工大学出版社  作者：郭方准  页数：141  字数：100000  

内容概要

　　《实用真空技术》主要内容包括：真空知识概论、真空密封、影响真空度的要素、真空系统、典型的薄膜生长方式。

作者简介

　　郭方准，1970年生，理学博士（日本大阪市立大学）.回国前任日本同步辐射光科学中心（SPring-8）研究员，现任大连交通大学教授、中国科学院大连化学物理研究所研究员。
　　主要荣誉：中国科学院百人计划（2009）国家千人计划（2010）中国侨联特聘专家（2011）辽宁省攀登学者（2012）
　　主要获奖：第七届表面界面和纳米技术国际会议青年科学家奖（2003）日本文部科学大臣奖（2008）
　　主要著作：《Frontal Semiconductor Research》Nova Science Publishers，
Inc.ISBN：1-60021-210-7.（USA 2006）.

书籍目录

第1章 真空知识概论
1.1 什么是真空
1.2 真空的发现和理论基础
1.3 几个重要的概念
1.4 真空技术的应用
第2章 真空密封
2.1 永久密封
2.2 非永久密封
2.3 真空法兰
2.4 真空导入要素
2.5 波纹管
第3章 影响真空度的要素
3.1 真空检漏
3.2 真空中的材料气体放出
3.3 真空材料的表面净化和抛光
3.4 真空系统的排气计算
第4章 真空系统
4.1 真空系统的构成
4.2 真空腔体
4.3 真空泵
4.4 真空计
4.5 真空阀门
4.6 各种运动导入器
4.7 配管连接元件
第5章 典型的薄膜生长方式
5.1 物理方式成膜（Physical Vapor Deposition:PVD）
5.2 化学方式成膜（Chemical Vapor Deposition:CVD）
附录
参考文献

章节摘录

版权页：   插图：   真空本身没有意义，在真空环境中完成工作才赋予其真正的价值。各种真空运动导入器的使用，实现了对真空环境中的样品传递、操纵以及温控等。真空运动导入器要求真空密封性高、驱动顺畅、驱动重复性高以及使用寿命长。 本节介绍几种代表性的真空运动导入器。 1.互线推动驱动器 直线推动驱动器主要由外筒、真空法兰、移动法兰、波纹管、推动杆、驱动轴等组成。外筒内部的波纹管分别和真空法兰以及移动法兰焊接，实现伸缩和真空密封。移动法兰的两端分别与驱动轴和推动杆连接。操纵推动杆，则驱动轴可在真空中直线移动。真空法兰内侧设置准直部件，确保驱动轴不会摆动。外筒开有长条孔，固定在移动法兰外壁上的指针沿着长条孔移动，达到指示驱动轴移动位置的目的。外筒侧壁设置固定螺丝，可将推动杆固定在任意位置。直线推动驱动器中和真空接触的部件，全部采用不锈钢和无氧铜材料，可耐高温烘烤，适合在超高真空系统中的使用。直线推动驱动器的示意图参照图4.25。 2.直线驱动器 超高真空直线驱动器的直线驱动和真空密封同样靠波纹管来实现（图4.26）。波纹管的两端分别和移动法兰与真空法兰焊接。移动法兰在真空一侧和驱动轴连接，另一侧设计成螺纹构造。移动法兰和把手之间的螺纹构造相匹配，旋转把手，则波纹管作直线运动，从而带动驱动轴的直线运动。真空法兰内部安装直线轴承，可实现驱动轴的运动准直性。外筒上带有刻度，通过把手的位置可知驱动轴的行程。 直线驱动器精度高，重复性强，可和直流或步进电机组合，实现电控操作。

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《实用真空技术》介绍了真空技术和物理学的进步紧密相关，目前已经是表面科学、半导体应用、高能粒子加速器、核聚变研究装置和宇宙开发领域不可缺少的技术。

用户评论 (总计1条)

•   已经到货，薄薄的，内容太少，还要40元？太坑爹，作为最初级的教材可能还凑合，估计技校生用的吧。不推荐！