离子束表面工程技术与应用

出版时间：2005-10  出版社：机械工业出版社  作者：张通和　吴瑜光  页数：399  

内容概要

　　《离子束表面工程技术与应用》内容主要包括离子束注入技术、离子束增强沉积技术、磁过滤离子束沉积技术、全方位离子注入技术、强脉冲离子束材料改性技术和离子束创建新型制膜工程等，着重给出了这些离子束技术的最新研究成果及其在工业上的广泛应用情况。《离子束表面工程技术与应用》内容系统全面，实用性强。　　《离子束表面工程技术与应用》可供表面工程技术人员技术人员参考，也可供相关专业在校师生以及研究人员参考。

书籍目录

前言第1章 离子束表面工程技术概述 1.1 离子束表面工程技术原理1.2 离子束注入的特点和局限性1.3 离子束表面工程技术的发展概况第2章 离子束注入技术2.1 离子束注入技术简介2.2 非金属离子注入2.3 金属离子注入2.4 离子注入WC合金钢2.5 离子注入改善TiN和TiC沉积膜特性2.6 长程离子注入2.7 双注入2.8 共注入2.9 离子注入材料的性能改善2.10 离子注入工业应用第3章 离子束增强沉积技术3.1 简介3.2 金属膜的制备和特性3.3 超硬陶瓷膜3.4 类金刚石膜3.5 固体滑润膜3.6 光学膜3.7 c-BN膜的制备和特性3.8 β-C3N4膜3.9 离子增强沉积的工业应用第4章 磁过滤离子束沉积技术4.1 简介4.2 磁过滤离子束金刚石薄膜沉积的应用4.3 Ti沉积改善H13钢抗腐蚀性能4.4 Ti+C+N共沉积膜的制备及其性能改善4.5 聚合物表面沉积4.6 Mo+C和Ti+C共沉积MoC膜和TiC膜工艺和特性4.7 Ti+Fe+C三元共沉积膜的特性 4.8 靶加热NbN沉积膜的特性4.9 高压负脉冲沉积薄膜的特性4.10 超厚膜的形成4.11 离子束沉积4.12 降低膜的内应力途径4.13 增强膜与基体粘合强度的途径4.14 DLC膜的制备、特性和应用4.15 磁过滤制膜特性和应用综述第5章 全方位离子注入技术第6章 强脉冲离子束材料改性技术第7章 离子束创建新型制膜工程第8章 离子束技术发展展望参考文献