出版时间:2005-1 出版社:科学出版社 作者:泽田廉士 译者:李元燮
内容概要
《微光机电系统》共由三篇构成。第1篇重点介绍微光机电系统在各领域中的应用,即光开关、反射镜阵列、衰减器、显示器、扫描仪、分光计、波长可变光学元件、执行器、可动结构体、传感与传感器等;第2篇是微光机电系统光学,主要介绍微光机电系统中应用的光学原理,即光的反射及折射、干涉、衍射,自由空间光学,光辐射压,近场光学等;第3篇主要介绍材料,制造,封装等。
《微光机电系统》内容新颖,技术先进,涉及的领域广泛,目前国内尚未发现此类专业书籍,具有极高的参考价值。本书可供通信、精密机械、电工电子等相关专业的技术人员参考。
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