SOI技术: 21世纪的硅集成电路技术

出版时间：1993  出版社：科学出版社  作者：(比)考林基(Colinge,J.P.)  译者：武国英  
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内容概要

书名原文:Silcon-on-insulator technology
内容提要    本书包括:SOI材料、SOI材料的表征技术、SOI MOSFET、SOI电路等8章。
题名    Silcon-on-insulator technology
主题    绝缘衬底上外延硅MOS集成电路